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RTP滑動(dòng)式快速退火爐
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- 產(chǎn)品描述
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- 商品名稱: RTP滑動(dòng)式快速退火爐
- 商品編號(hào): 3008
RTP滑動(dòng)式快速退火爐，該電爐采用紅外燈管加熱，通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)。
產(chǎn)品用途：
該電爐采用紅外燈管加熱，通過(guò)滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長(zhǎng)、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過(guò)快速移動(dòng)爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì)，可對(duì)樣品進(jìn)行快速升降溫處理；溫控精度高，最大升溫速率30℃/s;緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
RTP滑動(dòng)式快速退火爐
產(chǎn)品型號(hào)
RTP-G11103-K
額定功率
9KW
最高溫度
1000℃
工作溫度
950℃（＜1小時(shí)）
石英管尺寸
Φ110*360mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度
190mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度
100mm
加熱元件
紅外燈管
溫度控制
國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫
控溫定度
±1℃
爐管材質(zhì)
石英管
滑動(dòng)距離
355mm
滑動(dòng)方式
手動(dòng)
建議升降溫速度
30℃-50℃/min
外形尺寸
565*960*665
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